超高分辨率 掃描儀 臺式掃描電鏡EM-30
打破了傳統臺式掃描電鏡采用BSD探測器成像的局限性， 利用創新的雙聚光鏡成像技術，采用大型掃描電鏡成像原理，使用二次電子探測器作為基礎成像單元，從而可以獲得更高的分辨率（<5nm），是真正意義上的高分辨率臺式掃描電鏡。
特點：
◆ 使用方便、體積小巧、對環境要求低；
◆ 分辨率高， 大樣品倉；
◆ 自動馬達臺；
◆ 加速電壓范圍廣；
◆ 可選配附件多：EDS、冷臺；
超高分辨率 掃描儀 臺式掃描電鏡EM-30
技術參數：
分辨率 | 5nm@30kV SE |
放大倍數 | x15~x150,000 |
加速電壓 | 1kV-30kV (1kV步進) |
電子槍 | 發叉式鎢絲陰極 |
探測器 | 標配SE， 可選配EDS |
樣品臺 | X:35mm(馬達驅動)，Y:35mm(馬達驅動)，T:0~45°(馬達驅動)， R:360°(電子束旋轉)，Z :5 ~ 50mm |
樣品座 | 通用7個樣品樁的樣品臺； 通用30mm的樣品臺； 通用傾斜樣品臺； 通用截面臺 |
試樣尺寸 | 45mm(高),60mm(直徑) |
圖像模式 （像素） | Focus(160x120 ) ；RED (320 x 240 )； TV(640 x 480 ) ；Slow(800 x 600 )； Photo(1280 x 960 ，2560 x 1920 , 5120 x 3840 ) |
真空系統 | 機械泵、渦輪分子泵(小于3分鐘) |
軟件界面 | 全新的Nano Station 4.0TM |
自動功能 | 聚焦、燈絲、亮度、對比度 |
特殊功能 | 導航模式； 駕駛模式(通過控制桿操作)； SE像； 線輪廓 |
外形尺寸 | 400(寬)×600(長)×550(高) |
操作系統 | Windows 10 |
操作 | 控制桿， 鼠標， 鍵盤 |
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